解忧电池片钝化层划痕困扰


发布时间: 2018-11-27

电池片背面钝化层沉积,是单晶PERC生产线的一道工序,即钝化发射极背面接触,利用Al2O3在电池反面形成钝化层,与SINXHY薄膜的氢钝化效应,将硅片的有效载流子寿命由10-20微秒提高到100-200微秒,可能极大地提升电池片的内量子效力,实现单晶电池片转换效率的进步。在电池片出产进程中,存在某些因素极易对Al2O3钝化层造成划痕,如图1所示,导致电池片品德难以保障,因此划痕的解决变得迫在眉睫。

引言

1具体履行方式

摘要:电池片背面钝化层沉积工序,面临着划痕对AL2O3钝化层损害的困扰,对电池片转换效率的提高发生了不良影响。分析产生划痕的主要因素,通过试验加以工艺验证,最后提出解决划痕的有效办法。

造成Al2O3钝化层划痕的因素主要有两大方面。第一,背面钝化层沉积自身工序产生的划痕:吸盘将钝化层沉积工艺实现的硅片吸取后放置传输皮带上,吸盘汲取的过程中会造成划痕;硅片经传输机构传递至花篮中时,会因为跟花篮托齿摩擦造成划痕;硅片在传输过程中,会因为卡片、碎片等造成划痕。第二,后道工序自动化妆备对Al2O3钝化层造成的划痕。本文将从第二方面剖析造成Al2O3钝化层划痕的多少大因素,并通过试验找出解决划痕的详细方法。背面钝化层沉积工序之后,是等离子化学气相沉积(PECVD)工序,在PECVD工序运用的自动化设备是全自动石墨舟高下料机,由咱们自主研发设计的该种装备,已经在电池片生产线上实现牢固生产。由机器人带动真空吸盘一次抓取多张硅片,将PECVD工艺实现后的镀膜片放入下料中转花篮,再传输进100片空花篮中,以备后道丝网印刷工序应用;再将刻蚀工序后的硅片传入上料中转花篮,由机器人抓取后放入石墨舟内,进行PECVD工艺。如图2所示。在该设备运行过程中,产生Al2O3钝化层划痕的因素重要有以下多少个方面。(1)硅片在传输过程中,Al2O3钝化层因接触皮带,由于摩擦、产生相对运动造成划痕;(2)机器人的真空吸盘一致性差,向石墨舟内插片的过程中,导致硅片太贴紧舟叶片做旋转造成划痕;(3)机器人向石墨舟内插片的过程中,硅片旋转最后落入卡点的轨迹设计不好,造成划痕。这些问题始终困扰着电池片制造商以及主动化设备生产商,为理解决这种难堪的局面,咱们通过反复实验,跟踪测试,最后找出了详细的解决措施。

标签 划痕 硅片 化层 电池片 吸盘

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